HCP1000V-MPS XYZ模塊化高溫探針臺
HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、
多溫度范圍。
同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，
亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。
功能特點：
·mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備
·可編程控溫，涵蓋RT~1000℃
·適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件
·可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
·獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針
·可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK
·模塊化設計，可自由組合
·可升級為8個獨立探針
·SMA接頭轉BNC四探針，手動點針 *可選三同軸接口，用于pA級測試
溫控參數
溫度范圍
30℃ ~ 400℃
傳感器/溫控方式
S / PID控制（含LVDC降噪電源）
*大升溫速率
50℃/min
*小溫控速度
±0.01℃/min
溫度分辨率
0.01℃
溫度穩定性
±0.05℃
軟件功能
可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線
電學參數
探針
默認為錸鎢材質的彎針探針
可從外部XYZ移動的探針臂
點針
從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置
探針接口
默認為SMA接頭轉BNC
*可增設腔內接線柱（樣品接電引線）
樣品臺面電位
默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口
光學參數
適用光路
反射光路
窗片
可拆卸與更替的窗片
*小物鏡工作距離
8/12（可選）mm *截面圖中WD
上蓋窗片觀察
窗片范圍φ45mm，*大視角±58° *截面圖中θ1
負溫下窗片除霜
吹氣除霜管路
結構參數
適用樣品
25min*25 mm
樣品腔高
4/8 mm （可選）
粗調模式+微調模式，XY粗調20mm
XY微調行程10mm,Z微調 3mm
10um
真空腔，也可充入保護氣體
可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg
配置列表
基本配置
真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件
安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、防震桌、真空系統、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線