特點：
· 新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.2 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 kV (STEM) · 用改良的高真空性能和無 與倫比的電子束穩定性來實現高效率截面觀察。 · 采用全新設計的Super E x B能量過濾技術，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。
