Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。
與一般環境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(SSRM)的摻雜物濃度。
在高真空條件下執行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為**的結果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。
Park Hivac 管理器
Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制*佳真空條件抽氣和排氣過程來實現高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。
上等自動化特點
配備電控載物臺的StepScan自動化掃描
電動激光對準
提高精度和生產率
NX-Hivac即是全球*精準的高性能原子力顯微鏡，同時也是用于故障分析的*簡單方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產效率，并確保取得靠譜的結果。
閉環XY和Z軸掃描儀
利用兩個獨立的閉環XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描范圍內的離面運動距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進行軟件后期處理即可獲得精準的二維和三位測量。
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業優越的低噪聲Z軸探測器功能，可準確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。
NX-Hivac的一大特點是NX系列電子控制器可實現時間浪費*小化、精度*大化。我們的控制器
為全數字、24位高速器件，用戶能夠利用其執行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式。
控制器具有低噪聲設計和高速處理部件，是精密電壓和電流測量及納米級成像的較佳之選。嵌入式電子產品同時具有數字信號處理特點，用戶可輕松地分析測量值和成像。
Park NX-Hivac參數
XY掃描儀：50μm × 50μm（100μm x 100μm可選）
Z掃描儀：15μm
視野：840um x 630um (帶10x物鏡）
CCD：500萬像素
XY位移臺行程范圍：22mm x 22mm
Z位移臺行程范圍：24mm
聚焦樣品臺行程范圍：11mm
真空等級：通常小于1x10-5 torr
托泵速：使用渦輪和干式泵在約5分鐘內達到10-5 torr
ADC：18通道
X，Y和Z掃描器位置傳感器的24位ADC
DAC：17通道
用于X，Y和Z掃描器定位的20 位ADC
SmartScan：Park AFM操作軟件
XEI：AFM數據分析軟件
Hivac Manager：自動真空控制軟件
溫控臺
傾斜樣品載臺
卡入式樣品載臺