針對失效分析和大樣本研究的原子力顯微鏡
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20這款全球精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。
Park NX20具備有一無二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。
****的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針**更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和**。
樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量
對樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測量
高分辨率電子掃描模式
掃描式電容顯微鏡
多種獨(dú)有的磚利技術(shù)幫助顧客減少測試時(shí)間
CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn) 通過對比重復(fù)掃描情況下探針**的形狀變化，您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優(yōu)勢所在。 AFM測量 借助真正非接觸模式，探針**在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。 氮化鉻的表面粗糙且研磨性強(qiáng)，會(huì)讓普通的探針很快變鈍。
CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn)
AFM測量
借助真正非接觸模式，探針**在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。
氮化鉻的表面粗糙且研磨性強(qiáng)，會(huì)讓普通的探針很快變鈍。
Park NX系列原子力顯微鏡
傳統(tǒng)的原子力顯微鏡
Park NX20 規(guī)格
XY行程范圍 : 150 mm (200 mm選配) Z行程范圍 : 25 mm 對焦行程范圍: 8 mm
光學(xué)物鏡 10× (0.21 NA) 超長工作距離鏡頭的物鏡 20× (0.42 NA)高分辨率，長工作距離鏡頭的物鏡 同軸光源設(shè)計(jì) 10倍光學(xué)物鏡和數(shù)碼放大 光學(xué)物鏡視場 : 840 × 630 μm (420 × 315 μm選配) CCD : 5M pixel